팹 내에서는, 소프트 베이크와 하드 베이크의 온도가 단순히 공정의 기준을 설정하는 것뿐만 아니라, 회로선의 굵기까지 결정합니다. 0.5°C의 오차만 있어도 CD의 품질이 나빠집니다. 램프 작동 중에 입자가 발생하면 수율도 저하됩니다.
따라서 필요한 것은 반복 가능하고 안정적인 열 공급이며, 기존 장비에 바로 사용할 수 있어야 합니다. 전체 생산 라인을 다시 검증할 필요가 없습니다.
당사는 국제적인 장비의 열적 및 전기적 특성에 맞게 설계된 반도체 램프를 공급합니다. 따라서 신뢰할 수 있는 대체품을 얻을 수 있습니다. 단파 및 중파 램프는 웨이퍼 전체의 온도 균일성을 유지해주며, 중요한 베이킹 단계에서는 ±0.1°C 이내의 오차를 보입니다.
쿼츠 및 할로겐 요소를 사용하면 빠른 가열 속도와 안정적인 출력을 얻을 수 있으며, 섬세한 필름들을 보호할 수 있습니다. 클린룸 등급 1~100에 맞게 설계되어 있으며, 램프가 켜지거나 식는 동안의 입자 발생도 감지됩니다. 드라이버는 24/7 연속 작동할 수 있도록 설계되었으며, 수명은 5,000시간 이상이고 출력 감소율은 5% 미만입니다.
리소그래피 및 포토레지스트 처리에서는 온도의 정밀도가 수율과 처리 시간을 결정합니다. 이 램프들은 베이킹 곡선을 안정화시키고, 제품 간의 일관성을 높여주며, 램프의 노화나 온도 변화로 인한 문제를 줄여줍니다.
동일한 공정 조건과 동일한 장비를 그대로 사용할 수 있으며, 효율적이고 빠른 가열 덕분에 에너지 사용량도 줄어듭니다. 신뢰성 덕분에 예기치 않은 장애나 유지보수가 줄어들어 계획을 세우기가 더 용이해집니다.
장착 시에는 표준 램프 소켓 및 드라이버와 호환됩니다. 하지만 장비의 버전에 따라 전압, 커넥터 종류, 기계적 간격 등을 반드시 확인해야 합니다. 일부 오래된 장비의 경우 조명 강도를 조절하기 위한 펌웨어 보정이 필요합니다. 당사는 이러한 보정 절차도 제공합니다.
정격 전압보다 낮은 전압으로 작동시키면 램프의 수명이 연장될 수 있지만, 베이킹 시간도 길어질 수 있습니다. 따라서 램프의 곡선을 포토레지스트의 사양에 맞게 조절해야 합니다.