진공 챔버용 적외선 히터

반제품의 탄소 배출을 줄이는 방법: 왜 진공 IR 히터가 효과적인가요? 먼저 열 관리에 대해 이야기해보겠습니다. 반도체 공장에서는 열 관리가 매우 중요합니다. 하지만 여전히 기존의 저항식 가열 방식을 사용한다면, 단 하나의 웨이퍼를 적절한 온도로 만들기 위해 전체 챔...