别让干燥过程毁掉您的生产效率
如果您在100级洁净室中工作，那您一定知道其中的麻烦之处。哪怕有一粒微小的灰尘或来自加热元件的微量碎片落在MEMS传感器晶圆上，都会导致其表面张力急剧上升，进而降低产品的合格率。这不仅令人沮丧，而且成本也相当高昂。
因此，我们选择了高纯度的合成石英红外灯。这种灯具不会产生任何碎片或有害气体，只会释放出纯净的热量。
为什么石英如此重要？
普通玻璃在高温下很容易破裂，或者释放出有害的挥发性有机化合物。而熔融石英则能在极高温下依然保持稳定。可以说，石英就像一个“保险箱”，它将钨丝与洁净室环境隔离开来。这样，您就能获得所需的热量，同时避免污染物接触到晶圆。这是一种更为安全的工作方式。
如何恰到好处地控制热量
在MEMS干燥过程中，速度非常重要。您需要快速蒸发掉清洗液，但同时又不能让基片过热。我们的红外灯能够发出短波辐射，直接穿透液体层。我们可以根据晶圆的尺寸调整功率和电压，从而实现更精确的控制。
不过需要注意的是：当您试图通过提高功率来缩短处理时间时，灯管会变得非常热。您必须确保灯管的外壳具有良好的散热功能，否则洁净室的结构都可能受到影响。没人愿意面对这种情况。
连接与使用
我们采用了标准接口，因为这样就能轻松替换现有的干燥模块。这些接口的尺寸很小，因此可以更靠近晶圆放置，从而提高效率。此外，我们还摒弃了粘合剂和涂层——因为这些材料最终都会脱落。这样一来，安装就更加简单明了。
而当灯泡烧坏时？您只需更换它即可。无需花费数小时来重新调整整个腔体的温度设置，您可以立刻继续工作。