
在芯片制造过程中减少碳排放:为何红外加热能发挥作用
说实话,半导体制造是一个耗能极高的过程。大多数工厂仍然在使用那些效率低下的传统加热系统,这些系统会导致大量热量流失,同时还会浪费大量电能。如果想要实现碳中和的目标,就不能再继续用旧方法了。
这时,红外加热灯便派上用场了。与其依靠效率低下的对流式烤箱,不如使用能够直接向芯片传递热能的红外灯。
这就是两者的本质区别。
在传统加热方式中,首先是空气被加热,然后空气再去加热芯片。这种方式效率低下且浪费能源。而红外灯则可以直接将电磁波传递到芯片上,省去了中间环节。
我们倾向于使用短波红外灯,因为它的升温速度更快,而且能更深入地加热芯片。这样一来,机器的怠速时间就会大大减少,从而降低每个生产周期的能耗。速度非常快。
不过,这并不能简单地被视为更换厨房里的灯泡那么简单。
在为洁净室升级为红外加热系统时,需要权衡各种因素。你需要足够的功率密度来完成工作,但同时又不能让电气系统不堪重负,也不能让相关材料受到损伤。关键在于让红外灯的波长与所处理的材料相匹配。
另外,还需要注意PID控制器的问题。红外加热的反应速度极快,如果控制回路反应迟缓,就可能导致温度失控,从而毁掉整批产品。
现在,让我们来谈谈其中的权衡吧。
采用红外加热虽然对环境有益,因为可以减少能耗,但也有其缺点。石英管并非永不变质,它们会逐渐损坏。也就是说,你其实是在用较高的每月电费来换取定期更换损坏的灯管的成本。
这就是高强度加热的现实。虽然这是一种公平的交换,但你还是需要提前做好规划。