なぜ、空気を加熱するのをやめて、部品自体を直接加熱するのでしょうか？
ほとんどの人は対流式のヒーターに慣れています。つまり、空気を温めてから、その空気が部品を温めるわけです。しかし、半導体製造のクリーンルームでは、これは問題を引き起こす原因となります。
機械の内部全体を加熱すると、すべての部分が高温になってしまいます。内壁も非常に高温になり、作業している人が火傷する危険があります。また、筐体が膨張して位置がずれてしまうこともあります。高精度な部品を扱う場合、これは避けたいことです。
方向性のある加熱のコツ
私たちは違った方法を使います。短波長の赤外線ランプを利用するのです。
赤外線は空気の流れに影響されず、直線的に進みます。つまり、通過する空気を無視して、エネルギーを直接基板上に送り込むのです。焦点を正確に合わせ、適切な反射器を使えば、熱を必要な場所、つまりウェハー上に正確に当てることができます。
最良な点は、筐体の壁面が冷たくなっていることです。高価な機械を巨大なトースターのようにすることなく、必要な場所だけを加熱できます。
赤外線のデメリット
もちろん、これは魔法ではありません。何かしらの trade-offがあります。
高ワット数の赤外線ランプは、急速な加熱には適していますが、強力すぎます。反射器の位置が少しでもずれたり、ランプが少し傾いただけで、筐体の一部に「ホットスポット」ができてしまいます。これは精密さが求められる作業です。マウントブラケットの位置を正確に調整して、すべてが完璧に中心に来るようにしなければなりません。
より安全な作業方法
赤外線を使えば、機械内の「危険な領域」を大幅に減らすことができます。
壁面が余分な熱を吸収しないため、外側の筐体の温度は人に危害を与えない程度に保たれます。さらに、クリーンルーム内の空気を加熱するために電力を無駄にすることもありません。
これは、エネルギーをより効率的に利用する方法です。部屋全体を加熱するのではなく、部品自体を直接加熱するのです。