真空チャンバー用赤外線ヒーター

半製品の炭素排出量を削減する：なぜ真空式赤外線ヒーターが有効なのか まずは熱バランスについて話しましょう。半導体製造工場において、熱バランスは非常に重要です。しかし、依然として従来の抵抗加熱方式を使っている場合、1枚のウェーハを適切な温度にするために、チャンバ全体を加熱する必要があります。これは大...