히터가 수소 센서를 망치도록 내버려 두지 마세요.
클래스 100 청정실에서 작업해본 적이 있다면 그 곳의 엄격한 환경을 잘 알 것입니다. 먼지 한 방울이나 히팅 요소에서 누출되는 약간의 가스만으로도 몇 초 만에 센서들이 모두 손상될 수 있습니다.
문제는 대부분의 일반적인 히터들이 “더러운” 상태라는 점입니다. 히터가 작동하기 시작하면 입자들이 나오거나 이상한 유해 가스(VOC)가 배출됩니다. 이는 깨끗한 환경을 유지하려는 사람들에게는 큰 문제입니다.
그래서 우리는 고순도 석영 IR 램프를 사용하기로 했습니다.
비결은 재료에 있습니다.
우리는 합성된 융합 실리카를 사용합니다. 이는 일반적인 유리와는 다릅니다. 온도 변화에도 거의 팽창하거나 수축하지 않기 때문에, 관이 깨지거나 작은 유리 조각들이 튀어나오는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
또한 모든 유기계 접착제와 결합제도 제거했습니다. 접착제나 불필요한 물질은 전혀 없습니다.
그 결과, 히터가 최고 온도에 도달해도 연기나 유해 가스가 나오지 않습니다. 그저 제대로 작동할 뿐입니다.
목표 지점에 정확히 열이 전달됩니다.
센서를 제작할 때는 열이 정확히 원하는 곳에 전달되어야 합니다. 우리의 IR 램프는 단파 복사를 사용합니다. 센서 주변의 공기를 가열하여 먼지가 웨이퍼 위로 날아오는 현상을 막습니다. 그 대신 열은 직접 기판으로 전달됩니다.
속도도 매우 빠릅니다. 게다가 전체 영역의 온도가 일정하므로 과정을 조절하는 데 드는 노력도 줄어듭니다.
유의해야 할 사항들
이 램프들은 진공 상태나 특수한 환경에서도 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 금 도금된 접점이나 고품질 합금 접점을 사용하여 연결 부위에서의 산화 문제를 방지합니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 고순도 석영은 강화 유리보다 조금 더 깨지기 쉽습니다.
어떤 경우에도 맨손으로 관을 만지지 마세요. 피부의 기름성분이 작은 ‘고온점’을 만들어 관이 너무 일찍 고장날 수 있습니다. 설치할 때는 반드시 린트프리 장갑과 IPA 와이프를 사용해야 합니다.
물론, 이 램프들은 저렴한 제품들보다 초기 비용이 더 많이 듭니다. 하지만 쓰레기통에 버려지는 센서의 양을 생각해보면, 그만한 가치가 있습니다.