드라이닝 과정으로 인해 제품의 품질이 떨어지는 것을 막으세요.
만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 입자나 발열체에서 나오는 미세한 조각들이 MEMS 센서 웨이퍼 위에 떨어지기만 하면, 표면 장력이 급격히 변합니다. 그 결과 제품의 품질이 떨어집니다. 정말 짜증나는 일이며, 물론 비용도 많이 듭니다.
그래서 저희는 고순도 합성 석영 IR 램프를 사용하게 되었습니다. 이 램프는 먼지나 유해한 화합물을 전혀 방출하지 않습니다. 오직 깨끗한 열만을 제공합니다.
왜 석영이 중요한가?
일반적인 유리는 고온에 장시간 노출되면 결국 파손되거나 유해한 유기화합물을 방출합니다. 반면, 융제된 규소는 극심한 고온에서도 안정적으로 유지됩니다. 석영 커버는 마치 금고와 같아서, 텅스텐 필라멘트를 청정실 환경으로부터 분리해 줍니다. 필요한 열을 얻으면서도, 웨이퍼에 오염물질이 닿는 일은 없습니다. 이 방식이 훨씬 안전한 방법입니다.
적절한 열량 조절
MEMS 드라이닝의 핵심은 빠른 속도로 처리하는 것입니다. 세척액을 빠르게 증발시켜야 하지만, 기판을 너무 과열시키면 안 됩니다.
저희의 IR 램프는 짧은 파장의 광선을 사용하여 액체층을 빠르게 관통합니다. 웨이퍼의 크기에 맞춰 출력과 전압을 조절할 수 있어서, “모든 경우에 적합한” 방식이 아니라 맞춤형 솔루션이 가능합니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 몇 초라도 시간을 단축하기 위해 램프를 최대한 사용하면, 램프의 끝부분이 매우 뜨거워집니다. 그렇기 때문에, 램프의 외부에 효과적인 열 방출 구조나 물冷각 장치가 있어야 합니다. 그렇지 않으면 청정실의 구조가 변형될 수 있으며, 이는 결코 원하는 상황이 아닙니다.
연결 및 지속적인 작동
저희는 표준적인 커넥터를 사용했습니다. 왜냐하면 기존에 사용하던 드라이닝 모듈과 간단히 교체할 수 있도록 하기 위해서입니다.
크기가 작아서 웨이퍼에 더 가까이 배치할 수 있어 효율성이 높아집니다. 또한 접착제나 코팅도 사용하지 않았습니다. 그런 것들은 결국 벗겨지게 마련이니까요. 대신, 단순한 기계적 결합만으로도 충분합니다.
그리고 램프가 고장 나면, 그냥 교체하기만 하면 됩니다. 전체 가열 시스템을 다시 조정할 필요가 없습니다. 바로 다시 작업을 시작할 수 있습니다.