와이어를 완전히 깨끗하게 유지하기
클래스 100 등급의 청정실에서 작업할 때는 실수할 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 먼지 입자나 가열 요소에서 나오는 가스만 있어도 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 정말 악몽과 같은 상황입니다.
그래서 우리는 일반적인 재료 대신 고순도 합성 석영을 IR 램프에 사용하기로 했습니다.
석영이 중요한 이유
일반 유리는 열충격에 취약하거나 반도체 제조에 필요한 수준의 순도를 갖추고 있지 않습니다. 우리는 수소산화물 함량이 낮은 융합 석영을 사용합니다.
즉, 램프가 가열되거나 냉각될 때 미세한 실리카 입자가 나오지 않습니다. 게다가 석영 커버는 밀폐된 구조를 형성하여 텅스텐 필라멘트가 과정 환경으로부터 분리되도록 해줍니다.
원하는 곳에만 열을 전달하기
우리의 IR 램프는 에너지를 매우 좁은 스펙트럼 범위에 집중시킵니다. 이점은 와이어 표면의 목표 온도에 도달할 수 있다는 것입니다. 전체 장비가 오븐처럼 되는 것을 방지할 수 있습니다.
가속 시간도 매우 빠릅니다. 하지만 단점은 열이 너무 집중되기 때문에 적절한 냉각 시스템이 필요합니다. 공기 흐름이 제대로 되지 않으면 장비가 손상될 수 있습니다. 하지만 속도를 위해서는 이러한 희생이 필요합니다.
접착제나 불순물 없음
우리는 이 램프들을 ‘그대로 교체 가능한’ 형태로 설계했습니다. 가동 중단 시간을 최소화하기 위해 교체가 용이하도록 만들었습니다.
또한 접착제나 코팅도 사용하지 않았습니다. 왜냐하면 그런 것들은 결국 벗겨지기 때문입니다. 대신 진공 상태나 특정 대기 조건에서도 밀폐된 상태를 유지하는 기계식 밀폐 장치를 사용했습니다. 간단하고, 깨끗하며, 효과적입니다.
주의사항
고순도 석영은 깨지기 쉬운 재료입니다. 극한의 열에는 견딜 수 있지만, 충격에는 약합니다.
만약 고정 브라켓에 충격 방지 장치가 없다면, 램프가 프레임에 부딪혀 부서질 수 있습니다. 그러면 진공 상태가 깨지고 필라멘트도 즉시 손상됩니다. 안정적으로 고정해두면 문제가 없습니다.