リソグラフィーの工程においては、歩留まりは数度の違いで大きく変わってしまいます。ソフトベイク時に2℃の温度変動があると、CDの精度が悪化してしまいます。また、均一でない硬化処理を行うと、ラインエッジの粗さが生じてしまいます。そこで、ウェーハの乾燥やフォトレジストのプリベイク、ハードベイクの際に発生...

製造現場において、RTPツール内の1つのランプが故障するだけでも、そのマシンは停止してしまいます。その結果、生産ライン全体が止まってしまいます。ウェーハの加熱条件も崩れ、フォトレジストの特性も不安定になります。突然、CD精度やフィルム厚さの再現性も悪くなってしまいます。MattsonのRTPランプ...

RVの中での寒い朝は、単に不快なだけでなく、エネルギーを奪われ、何もかもが大変に感じられます。外部電源がない場合、通常のヒーターは過剰な電流を消費してブレーカーが切れたり、夜明け前にバッテリーが放電してしまったりします。一方、コンパクトな赤外線ヒーターは、空気ではなく、人や物体自体を直接温めるため...

製造現場では、焼成時の温度が0.5度でもずれると、もう二度とチャンスはありません。フォトレジストの焼成時に0.5℃の変動があるだけで、ウェーハの寸法が変わってしまい、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。そのため、予測可能で均一で安定した加熱が必要です。だからこそ、私たちはウェーハ製造用に特別に設...

リソグラフィーの工程において、わずか0.5度程度の温度変動でも、重要な寸法制御が失われてしまいます。フォトレジスト内の溶剤の残存量も予測不可能になり、歩留まりも低下してしまいます。私たちは、このような不確実性を排除するために、特別に設計されたフォトレジスト用の予熱用赤外線ヒーターを開発しました。...

現代的なレストランに足を踏み入れると、すぐにその雰囲気を感じることができます。シンプルなデザイン、温かい照明、会話がスムーズに続くような空間の配置です。しかし、実際には、快適さを保ちつつ、レストランの雰囲気を壊さない方法が問題となります。従来のヒーターは大きく見え、扇風機のように騒音がひどく、無駄...

ベビールームの環境が落ち着き、温度が下がってくると、一定の暖かさが求められます。急激な熱風が吹き出して空気が乱れ、すべてが乾燥してしまうような状態は避けたいものです。従来の対流式ヒーターでは、部屋全体が不快に感じられます。一方、赤外線ヒーターは異なります。まず人や物を温め、空気自体はその影響を受け...

製造現場では、熱による影響は決して警告のサインとして現れることはありません。それは、ウェハの寸法が変動したり、側壁に傷ができたり、フォトレジストの特性がロットごとに異なったりする形で現れます。ランプの性能が低下すると、熱バランスが崩れ、不良品の発生が増えてしまいます。 技術的に重要な点 私たちがこ...

冬の朝にオフィスに足を踏み入れると、その空気の乾燥した感じや、デスクの上に漂う寒さを感じることができます。一日が始まる前から、部屋全体の活動が少し遅くなってしまいます。温度が均一でないと、人々はデスクの周りに重ね着をしてしまい、血液の流れが悪くなり、風邪が広がりやすくなります。私たちは、このような...

もし、より清潔で長持ちする家を作りたいのであれば、選ぶ暖房機器は非常に重要です。寒い部屋は単に不快なだけでなく、急場しのぎの対処や高額な費用、そして無駄な消費を招きます。一方、オイル式のラジエーターヒーターは、安定した暖かさを提供し、調整も簡単で、静かに効果的に機能します。 内部で実際に何が起こっ...

Nights outdoors cool off fast. Once the temperature drops, comfort goes with it—and so does the urge to linger a little longer. A halogen patio...

あたたかさが求められる読書用の静かな一角には、強制的ではなく身体に合った暖かさが必要です。従来型のヒーターは空間全体を過剰に加熱したり、暖まるまで待たされることが多く、さらに大型のものは床面積を占有します。ポータブル赤外線ヒーターは熱の伝わり方を変えます。即座に、狙った部分に集中的な熱を送り、家全...

ライン上では、FOWLPは熱処理予算を限界まで使い切っている。リフローやエポキシ硬化時に一か所でもホットスポットが発生すると、その広範囲なファンアウトダイは位置ずれを起こし始める。従来の加熱器は温度が変動し、パネル全体の温度ムラが反り、ボイド、インターコネクトの強度不足として現れる。 ここがポイン...

冬が本格的に到来すると、寒さは単に不快感を与えるだけではありません。体を重くし、肩をこわばらせ、部屋が温まるのを待っている間に、夜がゆっくりと過ぎていきます。従来のヒーターはただ空気を循環させるだけで、ほこりを舞い上げ、オンオフを繰り返し、噴出する度に震えさせます。私たちは、必要な場所に、必要な時...

現場での温度ドリフト ライン上での温度ドリフトはホワイトボード上の問題ではありません。それはライン幅の変動、ソフトベーク後に付着しないフォトレジスト、そして月末に実感する歩留まりの低下として現れます。リソグラフィーとフォトレジスト処理において、ベークステップは熱的な予算を設定します。ホットゾーンが...